高功率分區(qū)串聯(lián)VCSEL優(yōu)化傳感/照明散熱問題
在光電子領(lǐng)域,"單片集成串聯(lián)VCSEL陣列- Monolithic Series-Connected VCSELs)"(又稱橫向串聯(lián)VCSEL陣列- Laterally-Series-Connected VCSEL Array)通過創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計,成功解決了高功率VCSEL面臨的多個技術(shù)難題。
傳統(tǒng)VCSEL在追求高功率時,常面臨驅(qū)動電流過大、散熱困難等挑戰(zhàn)。這項創(chuàng)新工藝在同一半導(dǎo)體襯底上制作多個獨立的VCSEL發(fā)光單元,通過芯片內(nèi)部金屬布線將這些單元以串聯(lián)方式連接。
檸檬光子核心工藝特點:將大尺寸VCSEL芯片劃分為多個獨立發(fā)光區(qū)域,有效分散熱源,降低熱密度。通過芯片內(nèi)部微納加工技術(shù)實現(xiàn)VCSEL分區(qū)串聯(lián),而非傳統(tǒng)的外部導(dǎo)線并聯(lián)
1. 高電壓、低電流驅(qū)動
串聯(lián)結(jié)構(gòu)使總工作電壓為各單元電壓之和,電流保持不變。例如實現(xiàn)50W功率輸出時,10個VCSEL單元串聯(lián)可將驅(qū)動電壓提升至20V,電流降至2.5A,相比并聯(lián)結(jié)構(gòu)需要的25A電流,大幅降低了電流密度和歐姆損耗。
2. 卓越的散熱性能
低電流運行顯著減少了焦耳熱產(chǎn)生,配合分區(qū)設(shè)計的熱源分散,實現(xiàn)了優(yōu)異的散熱效果,帶來"溫度敏感性低"和"高可靠性"的核心優(yōu)勢。
3. 無縫光學(xué)窗口
通過精密的光刻工藝設(shè)計,各分區(qū)邊界發(fā)光點可實現(xiàn)無縫連接,形成均勻、連續(xù)的面光源,消除暗區(qū),為高質(zhì)量光學(xué)應(yīng)用奠定基礎(chǔ)。
這項技術(shù)為多個行業(yè)提供了突破性解決方案:
檸檬光子單片集成串聯(lián)VCSEL陣列工藝本質(zhì)上是一種將多個VCSEL發(fā)光單元在芯片內(nèi)部串聯(lián)連接的微電子/光電子制造技術(shù),其主要目的是解決高功率VCSEL的散熱難題和超大電流驅(qū)動難題,最終實現(xiàn)高功率(≥50W)、高可靠性、波長穩(wěn)定、低溫敏性以及無縫均勻發(fā)光的優(yōu)異性能。
隨著智能家居、智慧城市和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,這項技術(shù)將成為智能制造和智能感知的關(guān)鍵支撐,為各行業(yè)的智能化轉(zhuǎn)型提供強大的技術(shù)動力。